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品名	英文名	分子式	級(jí)別
			SL	UL	VL(CMOS)	EL
甲醇	Methanol	CH3OH		■	■	■
乙醇	Ethanol	C2H5OH	■	■	■	■
異丙醇	IPA	CH3CHOHCH3	■	■	■	■
丙酮	Acetone	(CH3)2CO	■	■	■	■
醋酸丁酯	n-Butyl Acetate	C6H12O2		■	■	■
甲苯	Toluene	C6H5CH3			■	■
二甲苯	Xylenes	C8H10				■
三氯乙烯	Trichloroethylene	C2HCl3		■	■	■
環(huán)已烷	Cyclohexane	C6H12			■	■
N-甲基吡咯烷酮	N-methyl-2-pyrrolidinone	CH3N(CH2)3CO		■	■	■
丙二醇單甲醚	PGME	PGME		■	■	■
丙二醇單甲醚醋酸酯	PGMEA	PGMEA		■	■	■

● EL級(jí)：優(yōu)于美國(guó)SEME C1標(biāo)準(zhǔn)，控制1μm顆粒，控制十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素控制在100PPb。
● VL級(jí)：介于EL與UL之間，控制0.5μm顆粒，控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素控制在10~100PPb。
● UL級(jí)：等同于美國(guó)SEME C7標(biāo)準(zhǔn)，控制0.5、0.3μm顆粒，控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素控制在10PPb以下。
● SL級(jí)：等同于美國(guó)SEME C8標(biāo)準(zhǔn)，控制0.3μm顆粒，控制三十多個(gè)金屬元素，單項(xiàng)金屬元素控制在1PPb以下。